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增透膜

248nm 增透膜:应用于 KrF 激光器。要求反射率、吸收和散射损耗尽量小,同时要求阈值尽可能高。

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技术特点

应用于KrF 激光器。要求反射率、吸收和散射损耗尽量小,同时要求阈值尽可能高.

59°1064nm增透膜:

常用于激光器的谐振腔。要求偏振分量的透过率和阈值都尽可能高。

波长及宽带增透膜代表性产品示例

355nm 532nm 1064nm三波段增透

应用于 Nd:YAG 激光器系统。要求反射率、吸收和散射损耗尽量小,阈值尽可能高。


技术参数



工作波长(nm)

工作角度

尺寸

(mm)

透过率

光洁度

(美军标)

透射面形

(λ =632.8nm)

阈值

(J/cm2,3ns)

248

θ±10°

Φ12.7

T>99.50%

10-5

PV<1/10

>1

 

θ±10°

Φ25.4

T>99.50%

10-5

PV<1/10

>1

 

θ±10°

Φ50.8

T>99.50%

10-5

PV<1/8

>1

 

θ±10°

Φ300

T>99.50%

40-20

PV<1/5

>1

 

θ±10°

Φ600

T>99.50%

60-40

PV<1/4

>1

 

θ±10°

Φ900

T>99.50%

60-40

PV<1/3

>1

266

θ±10°

Φ12.7

T>99.50%

10-5

PV<1/10

>1

 

θ±10°

Φ25.4

T>99.50%

10-5

PV<1/10

>1

 

θ±10°

Φ50.8

T>99.50%

10-5

PV<1/8

>1

 

θ±10°

Φ300

T>99.50%

40-20

PV<1/5

>1

 

θ±10°

Φ600

T>99.50%

60-40

PV<1/4

>1

 

θ±10°

Φ900

T>99.50%

60-40

PV<1/3

>1

355

θ±10°

Φ12.7

T>99.70%

10-5

PV<1/10

>6

 

θ±10°

Φ25.4

T>99.70%

10-5

PV<1/10

>6

 

θ±10°

Φ50.8

T>99.70%

10-5

PV<1/8

>6

 

θ±10°

Φ300

T>99.70%

40-20

PV<1/5

>5

 

θ±10°

Φ600

T>99.70%

60-40

PV<1/4

>5

 

θ±10°

Φ900

T>99.70%

60-40

PV<1/3

>5

532

θ±10°

Φ12.7

T>99.70%

10-5

PV<1/10

>8

 

θ±10°

Φ25.4

T>99.70%

10-5

PV<1/10

>8

 

θ±10°

Φ50.8

T>99.70%

10-5

PV<1/8

>8

 

θ±10°

Φ300

T>99.70%

40-20

PV<1/5

>7

 

θ±10°

Φ600

T>99.70%

60-40

PV<1/4

>7

 

θ±10°

Φ900

T>99.70%

60-40

PV<1/3

>7

800

θ±10°

Φ12.7

T>99.80%

10-5

PV<1/10

>16

 

θ±10°

Φ25.4

T>99.80%

10-5

PV<1/10

>16

 

θ±10°

Φ50.8

T>99.80%

10-5

PV<1/8

>16

 

θ±10°

Φ300

T>99.80%

40-20

PV<1/5

>15

 

θ±10°

Φ600

T>99.80%

60-40

PV<1/4

>15

 

θ±10°

Φ900

T>99.80%

60-40

PV<1/3

>15

1064

θ±10°

Φ12.7

T>99.90%

10-5

PV<1/10

>30

 

θ±10°

Φ25.4

T>99.90%

10-5

PV<1/10

>30

 

θ±10°

Φ50.8

T>99.90%

10-5

PV<1/8

>30

 

θ±10°

Φ300

T>99.90%

40-20

PV<1/5

>28

 

θ±10°

Φ600

T>99.90%

60-40

PV<1/4

>28

 

θ±10°

Φ900

T>99.90%

60-40

PV<1/3

>27

1319

θ±10°

Φ12.7

T>99.90%

10-5

PV<1/10

-

 

θ±10°

Φ25.4

T>99.90%

10-5

PV<1/10

-

 

θ±10°

Φ50.8

T>99.90%

10-5

PV<1/8

-

 

θ±10°

Φ300

T>99.90%

40-20

PV<1/5

-

 

θ±10°

Φ600

T>99.90%

60-40

PV<1/4

-

 

θ±10°

Φ900

T>99.90%

60-40

PV<1/3

-

2090

θ±10°

Φ12.7

T>99.90%

10-5

PV<1/10

-

 

θ±10°

Φ25.4

T>99.90%

10-5

PV<1/10

-

 

θ±10°

Φ50.8

T>99.90%

10-5

PV<1/8

-

 

θ±10°

Φ300

T>99.90%

40-20

PV<1/5

-

 

θ±10°

Φ600

T>99.90%

60-40

PV<1/4

-

 

θ±10°

Φ900

T>99.90%

60-40

PV<1/3

-

2940

θ±10°

Φ12.7

T>99.90%

10-5

PV<1/10

-

 

θ±10°

Φ50.8

T>99.90%

10-5

PV<1/8

-

 

θ±10°

Φ300

T>99.90%

40-20

PV<1/5

-

 

θ±10°

Φ600

T>99.90%

60-40

PV<1/4

-

 

θ±10°

Φ900

T>99.90%

60-40

PV<1/3

-

备注:

1.- 表示暂时无数据。

2.实际镀膜后的面形与镀前裸基板的数据相关。

3.透过率数据与使用角度和带宽相关:入射角度越大,使用角度范围越宽,目标带宽越大,增透膜所能达到的透过率降低。


典型产品示例

工作波长(nm)

工作角度

尺寸

(mm)

透过率

光洁度  

(美军标)

面形 

(λ =632.8nm)

阈值

225-280

θ±1 0°

Φ12. 7

T>99.00%

10-5

PV<1/1 0

>1J/cm2 @248nm,3ns

θ±1 0°

Φ25. 4

T>99.00%

10-5

PV<1/1 0

θ±1 0°

Φ50. 8

T>99.00%

10-5

PV<1/8

θ±1 0°

Φ300

T>99.00%

40-20

PV<1/4

θ±1 0°

Φ600

T>99.00%

60-40

PV<1/3

θ±1 0°

Φ900

T>99.00%

60-40

PV<1/3

355&532

θ±1 0°

Φ12. 7

T>99.50%

10-5

PV<1/1 0

>8J/cm2 @ 532nm,3ns

θ±1 0°

Φ25. 4

T>99.50%

10-5

PV<1/1 0

θ±1 0°

Φ50. 8

T>99.50%

10-5

PV<1/8

θ±1 0°

Φ300

T>99.50%

40-20

PV<1/4

θ±1 0°

Φ600

T>99.50%

60-40

PV<1/3

θ±10 °

Φ900

T>99.50%

60-40

PV<1/3

800&1064

θ±1 0°

Φ12. 7

T>99.80%

10-5

PV<1/1 0

>29J/cm2 @ 1064nm,3ns

θ±1 0°

Φ25. 4

T>99.80%

10-5

PV<1/1 0

θ±1 0°

Φ50. 8

T>99.80%

10-5

PV<1/8

θ±1 0°

Φ300

T>99.80%

40-20

PV<1/4

θ±1 0°

Φ600

T>99.80%

60-40

PV<1/3

θ±1 0°

Φ900

T>99.80%

60-40

PV<1/3

355&532 &1064

θ±1 0°

Φ12. 7

T>99.50%

10-5

PV<1/1 0

>29J/cm2 @ 1064nm,3ns

θ±1 0°

Φ25. 4

T>99.50%

10-5

PV<1/1 0

θ±1 0°

Φ50. 8

T>99.50%

10-5

PV<1/8

θ±1 0°

Φ300

T>99.50%

40-20

PV<1/4

θ±1 0°

Φ600

T>99.50%

60-40

PV<1/3

θ±1 0°

Φ900

T>99.50%

60-40

PV<1/3

380-800

θ±1 0°

Φ12. 7

Tave>99.50 %

10-5

PV<1/1 0

>8J/cm2 @ 532nm,3ns

θ±1 0°

Φ25. 4

Tave>99.50 %

10-5

PV<1/1 0

θ±1 0°

Φ50. 8

Tave>99.50 %

10-5

PV<1/8

θ±1 0°

Φ300

Tave>99.50 %

40-20

PV<1/4

θ±1 0°

Φ600

Tave>99.50 %

60-40

PV<1/3

θ±1 0°

Φ900

Tave>99.50 %

60-40

PV<1/3

1900~2200

θ±1 0°

Φ12. 7

Tave>99.70 %

10-5

PV<1/1 0

平均功率>500 KW/ cm2,峰值功率密度>200 MW/cm2, 2100nm

 

θ±1 0°

Φ25. 4

Tave>99.70 %

10-5

PV<1/1 0

θ±1 0°

Φ50. 8

Tave>99.70 %

10-5

PV<1/8

θ±1 0°

Φ300

Tave>99.70 %

40-20

PV<1/4

θ±1 0°

Φ600

Tave>99.70 %

60-40

PV<1/3

θ±1 0°

Φ900

Tave>99.70 %

60-40

PV<1/3

 

备注:

1.实际镀膜后的面形与镀前裸基板的数据相关。

2.透过率数据与使用角度和带宽相关:入射角度越大,使用角度范围越宽,目标带宽越大,增透膜所能达到的透过率降低。

 


产品应用